气体质量流量计 SFM5300

气体质量流量计 SFM5300

产品类别:气体流量计 适用于大批量成本敏感的OEM项目 SFM5300质量流量计具有的精度(误差<1%)、可重复性和长期稳定性,宽动态测量范围,尺寸紧凑。SFM5300质量流量计采用钣金式连接方式和数字接口。金属SFM5300是SFM5400系列质量流量计的变种适用于大批量成本敏感的OEM项目。 SFM5300质量流量计的杰出性能基于创新的技术,它在一个硅芯片上集成了高精度传感元件和信号处理电路。结合优质材料,其实现了一个持久稳定、快速和高精度的SFM5300质量流量计。 SFM5300质量流量计是SFC5300质量流量的无阀门版本。两个传感器产品具有相同的性能特性,并适用于在类似的应用,这意味着它们可以理想地结合在一起。在SFC5300 网站,你可以找到关于质量流量的进一步信息和详细规格。 性能参数: 低流量的高精确度(< 1 sccm) 优良的精度/可重复性(分别为测量值的2% / 0.2%) 宽动态范围(量程比1000:1) 尺寸紧凑(downmount安装连接) 多气体和气体识别 数字接口 高度可配置 MTBF 169年-无需再校准 文件下载:气体质量流量计 SFM5300